http://ir-glass-heat.com/ru/tags/%D0%BC%D1%8D%D0%BC%D1%81/ Recent content in МЭМС on Infrared Glass Heating Technology Hugo ru Mon, 29 Jun 2026 07:07:39 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:07:39 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS"></p> <p>Наблюдайте за тем, как пластина выходит из устройства для промывки. Не допускается наличия следов воды на поверхности пластины. Фотолитографический слой не должен подвергаться воздействию внезапных перепадов температуры. Если сушилка не может обеспечить правильный профиль нагрева, качество продукции снижается – приходится проводить дополнительную обработку или выбрасывать партию продукции.</p> <p><strong>Что происходит на техническом уровне?</strong> Мы разработали нагреватель для сушки пластин MEMS-датчиков, используя нагревательные элементы с быстрой реакцией и соответствующие стандартам чистых комнат, а также кварцевые материалы для теплообмена. Это позволяет сохранять однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C по всей активной зоне, что обеспечивает точное соблюдение рекомендаций по процессу сушки.</p>