http://ir-glass-heat.com/ru/tags/%D0%B2%D1%80%D0%B0%D1%89%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B5/ Recent content in Вращение on Infrared Glass Heating Technology Hugo ru Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Лампа запекания для спин котера"></p> <p>На литографическом этаже отклонение температуры запекания всего на полградуса достаточно, чтобы списать весь лот пластин. Мягкое и жесткое запекание — это не просто термоциклы, а параметры контроля размеров. Если лампа не удерживает заданное значение температуры по всей поверхности пластины, равномерность CD нарушается, и вместе с ней падает выход годных изделий.</p> <p>Мы разработали лампу запекания для спин-котера на базе кварцевой галогенной лампы ближнего инфракрасного диапазона (NIR). Она обеспечивает быстрый, прямой тепловой отклик и стабильный излучательный поток. Система обеспечивает равномерность по пластине в пределах ±0,1°C, а повторяемость поддерживает стабильное удаление растворителей при каждой серии.</p>