Прекратите тратить энергию впустую: более эффективный способ обработки пластин
Честно говоря, заводы по производству полупроводников — это настоящие „людоеды“ с точки зрения потребления энергии. Если посмотреть, куда уходит все это энергопотребление, окажется, что огромная часть её тратится на ненужное нагревание.
В течение многих лет для обработки пластин использовались огромные конвекционные печи. Но проблема в том, что приходится тратить огромные суммы на нагрев всей камеры — воздуха, стен, всего вокруг — лишь для того, чтобы довести температуру пластины до нужного уровня. Это крайне неэффективно.
Поэтому мы перешли на использование инфракрасных ламп. Вместо нагрева всей комнаты инфракрасные лампы направляют энергию прямо на саму пластину. Это гораздо эффективнее.
Почему физика имеет значение
Мы используем коротковолновые и средневолновые инфракрасные лучи, потому что они действуют более эффективно. Эти длины волн проникают сквозь слои фоторезиста и клея гораздо быстрее, чем это может сделать горячий воздух.
Подумайте о времени, необходимом для обработки: вместо часов ожидания, пока печь нагреется, достаточно нескольких секунд. Это значительная экономия энергии на единицу продукции. Мы создаем лампы с высокой плотностью мощности, что позволяет мгновенно достичь нужной температуры.
Интеграция в производственный процесс
Самое лучшее — это то, что это позволяет сократить выбросы углерода. Вы больше не будете бороться с потерями энергии, которые возникают при попытке поддерживать высокую температуру в огромной металлической камере.
Мы проектируем такие системы так, чтобы они были просты в использовании. Обычно они заменяют старые нагревательные элементы, так что не нужно менять всю конструкцию помещения.
Однако будьте осторожны: следите за подачей энергии. Высокомощные инфракрасные лампы потребляют много энергии. Если ваша электросеть не справляется с такой нагрузкой, вы будете постоянно перегружать предохранители.
Реальность
Инфракрасные лампы — это не волшебная палочка. У них есть свои особенности. Из-за высокой температуры могут возникнуть „точки перегрева“, если лампы не расположены правильно относительно пластины. Необходимо точно контролировать угол и расстояние.
Чтобы избежать проблем, мы рекомендуем использовать систему управления с помощью пирометра. Это поможет избежать чрезмерной обработки пластин.
Кроме того, не следует работать с лампами на полную мощность без контроля. Без должного охлаждения нити в лампах быстро выгорают. Все зависит от баланса между скоростью обработки пластин и возможностями оборудования.