http://ir-glass-heat.com/pt/tags/pastilha/ Recent content in Pastilha on Infrared Glass Heating Technology Hugo pt Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/pt/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/pt/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Aquecedor de wafer de safira"></p> <p>No piso da fábrica, aquela pastilha de safira de 2 <a href="https://o-yate.com">polegadas</a> está posicionada sob a trilha de litografia, aguardando o Soft Bake. Você precisa de 110°C em toda a superfície, não apenas no que o termopar indica. Qualquer temperatura inferior e o perfil do fotoresiste se desvia. Se elevar demais, está consumindo seu orçamento térmico.</p> <h2 id="o-que-realmente-importa-tecnicamente">O que realmente importa, tecnicamente</h2> <p>Os aquecedores que usamos para o processamento de pastilhas de safira são emissores de quartzo infravermelho de onda curta (SWIR). Eles transferem calor direta e rapidamente, com muito pouca inércia térmica. A uniformidade no nível da pastilha se mantém em ±0,1°C em todo o chuck, e a repetibilidade de um ciclo para outro fica dentro de ±0,2°C.<br> A plataforma é compatível com cleanrooms Classe 1–100, e as peças são selecionadas para que a geração de partículas fique zerada durante a operação em estado estacionário. Você obtém confiabilidade 24/7, sem paradas não planejadas, e os perfis de cura do fotoresiste são suficientemente repetíveis para manter o controle preciso da largura de linha.</p>