Filamento de substituição para lâmpada fab

Thu, 02 Jul 2026 08:50:07 +0800

Na linha de produção, a litografia e os processos de secagem do fotoresist não conseguem lidar com variações de temperatura. Mesmo uma pequena mudança na saída da lâmpada, de apenas alguns graus, já é suficiente para comprometer o controle térmico, fazendo com que o processo pare. Criamos esse filamento substituto para manter o perfil térmico estável, turno após turno.

O que é importante, do ponto de vista técnico: O filamento foi projetado para ser utilizado em lâmpadas halógenas – possui geometria precisa e permite uma ignição repetível. Ele mantém a estabilidade espectral tanto em faixas de onda curtas quanto médias, garantindo que a temperatura do wafer fique dentro de um intervalo de ±0,1°C em relação aos parâmetros estabelecidos. Isso resulta em emissividade consistente, resistência estável e comportamento previsível durante o aquecimento, o que ajuda a manter os processos de secagem dentro dos padrões exigidos. O filamento foi desenvolvido para uso em salas limpas de classe 1–100, com baixo nível de emissão de gases e sem geração de partículas durante a inicialização ou em estado estável.

Filamento on Infrared Glass Heating Technology

Filamento de substituição para lâmpada fab