Wafer on Infrared Glass Heating Technology

Czujnik IR o wysokiej precyzji do płytek krzemowych

Mon, 27 Jul 2026 09:12:33 +0800

Przestańcie marnować ciepło w komorach do obróbki płytek krzemowych
Oto problem z większością lamp IR: one emitują ciepło we wszystkich kierunkach. Gdy nagrzewacie płytkę krzemową, chcecie, aby energia trafiła bezpośrednio na powierzchnię płytki. Na pewno nie chcecie, aby ciepło rozchodziło się po wewnętrznych ściankach maszyny, która kosztuje mnóstwo pieniędzy.

Gdy sprzęt funkcjonuje jak gigantyczny radiator, sytuacja staje się skomplikowana. Marnujecie energię, a obudowa maszyny zaczyna się rozszerzać pod wpływem ciepła. To prawdziwy problem, którego wcale nie chcecie mieć.

Efektywny grzejnik płytek energetycznie

Mon, 27 Jul 2026 06:32:56 +0800

Dlaczego tak skupiamy się na testowaniu izolacji grzałek dla płytek krzemowych

Tworzymy grzałki, które muszą być niezwykle efektywne, przy jednoczesnym spełnianiu bardzo restrykcyjnych wymogów termicznych. Problem polega na tym, że gdy próbujemy umieścić dużą ilość mocy w małej przestrzeni, nie ma żadnego miejsca na błędy. Jeden mały wyciek w izolacji i – bum – masz awarię urządzenia lub zanieczyszczone podłoże.
Dlatego nie wierzymy w „kontrole przypadkowe”. Każdy element grzewczy, który opuszcza naszą fabrykę, przechodzi pełne testy wytrzymałości na napięcie oraz rezystancji izolacji. Bez wyjątków.

Reflektor do lampy do utwardzania płytek

Mon, 20 Jul 2026 11:43:19 +0800

Dlaczego rezygnujemy z ciepłego powietrza na rzecz reflektorów infraczerwonych przy procesie utwardzania płytek krzemowych
Jeśli pracujesz w obszarze przetwarzania półprzewodników, znasz problemy związane z używaniem ciepłego powietrza do utwardzania płytek. Proces ten jest powolny – w praktyce trzeba nagrzewać całe pomieszczenie, by tylko trochę ciepła dotarło do małej płytki krzemowej. To jak próba podgrzania domu poprzez nagrzewanie najpierw podjazdu.

Dlatego zdecydowaliśmy się na używanie promieniowania infraczerwonego. Zamiast czekać, aż powietrze się nagrzeje, promieniowanie infraczerwone oddziałuje bezpośrednio na cel. To szybsze rozwiązanie.

Czujnik temperatury dla narzędzia do płytek krzemowych

Thu, 09 Jul 2026 04:08:36 +0800

Wykorzystanie każdego watu energii w procesie obróbki płytek krzemowych

Wiesz, jak to jest przy obróbce płytek krzemowych: każdy watt energii musi służyć konkretnemu celowi. Stary sposób – używanie standardowych czujników temperatury – polega na odprowadzaniu ogromnej ilości ciepła do powietrza. To marnotrawstwo. Dlatego stworzyliśmy coś innego: czujnik temperatury otoczony złotem, który ma za zadanie odbijać ciepło z powrotem tam, gdzie powinno być.

Cel jest prosty: aby jak najwięcej energii trafiło na płytkę krzemową, zamiast być marnowane.

Grzałka do suszenia płytek czujników MEMS

Mon, 29 Jun 2026 07:07:42 +0800

Proszę zobaczyć, jak płytkę opuszcza stacja płukania. Nie wolno mieć żadnych śladów wody na powierzchni płytki. Fotorezyst nie może tolerować nagłych zmian temperatury. Jeśli suszarka nie może dostarczyć odpowiedniej temperatury, jakość produktu spada – konieczna jest dodatkowa obróbka, co oznacza utratę całej partii produktu.

Co się dzieje technicznie? Stworzyliśmy suszarkę do płytek sensorów MEMS na bazie szybko reagujących elementów grzewczych, dostosowanych do warunków panujących w pomieszczeniach czystych, oraz na bazie kwarcu jako materiału termicznego. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki w granicach ±0,1°C w obszarze aktywnym, co zapewnia precyzyjne realizowanie procedur suszenia.

Lampa do usuwania wilgoci z płytek krzemowych

Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800

Na linii produkcyjnej wilgoć pozostała po czyszczeniu nie jest tylko irytująca – przenika do fotorezystu podczas procesu suszenia, powoduje zmiany w krytycznych wymiarach elementów i skutkuje spadkiem jakości produktu. Lampa do usuwania wilgoci z płytek krzemowych eliminuje ten problem, usuwając wilgoć z ich powierzchni przed tym, jak zostanie naruszona struktura fotorezystu.

Co jest ważne w tym procesie? Lampę zaprojektowaliśmy tak, aby miała krótkofalowe emiterze halogenowe umieszczone w oprawie z kwarcu. Dzięki temu doszukuje się szybkiego nagrzewania powierzchni przy minimalnej masie cieplnej. Umożliwia to szybkie osiągnięcie pożądanego temperatury, reakcję w czasie poniżej sekundy oraz jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki w granicach ±0,1°C. Profil promieniowania jest dostosowany do średnicy płytki i prędkości skanowania, dzięki czemu temperatura pozostaje kontrolowana, a właściwości fotorezystu zachowane. Lampa jest również kompatybilna z warunkami panującymi w salach czystych: materiały odpowiadające standardom klasy 1–100, hermetyczna obudowa oraz brak tworzenia cząstek podczas ciągłej pracy.

Odległość bezpieczeństwa podczas podgrzewania płytki

Sun, 21 Jun 2026 06:19:24 +0800

Na linii produkcyjnej proces suszenia fotopolimeru jest procesem termicznym, który musi być przestrzegany ściśle. Nawet niewielka odchylenie temperatury na poziomie 10 ms lub błąd w pozycjonowaniu grzejnika względem płytki o wartości 1 mm mogą skutkować uszkodzeniem struktury płytki, powstaniem defektów na jej krawędziach lub koniecznością wyrzucenia całej partii produktu. Ta „strefa bezpieczeństwa” wokół grzejnika nie stanowi zwykłej strefy komfortu – to właśnie ona zapewnia zachowanie jakości produktu oraz sprawność sprzętu.

Oto jak zbudowaliśmy moduł grzewczy. Zamocowujemy go w określonej odległości od płytki, aby chronić delikatne elementy urządzenia przed wpływem ciepła. Dzięki temu uzyskujemy efektywny i szybki transfer ciepła. System zapewnia równomierną temperaturę na całej powierzchni płytki w zakresie ±0,1°C, dzięki czemu proces suszenia przebiega zgodnie z wymaganiami specyfikacji.