http://ir-glass-heat.com/pl/tags/szafir/ Recent content in Szafir on Infrared Glass Heating Technology Hugo pl Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/pl/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/pl/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Palnik do obróbki wafli szafirowych"></p> <p>Na hali produkcyjnej 2-calowa płytka szafirowa znajduje się pod stacją litografii, oczekując na Soft Bake. Potrzebujesz 110°C na całej powierzchni, nie tylko tego, co wskazuje termopara. Każda niższa temperatura powoduje dryft profilu fotooporu. Zwiększenie temperatury skutkuje przekroczeniem budżetu cieplnego.</p> <h2 id="co-faktycznie-ma-znaczenie-technicznie">Co faktycznie ma znaczenie, technicznie</h2> <p>Grzałki używane do obróbki płytek szafirowych to kwarcowe emitery podczerwieni krótkofalowej (SWIR). Emitują ciepło bezpośrednio i szybko, z bardzo niską bezwładnością termiczną. Jednolitość temperatury na poziomie płytki utrzymywana jest w zakresie ±0,1°C na całym chucku, a powtarzalność między cyklami mieści się w ±0,2°C.<br> Platforma jest <a href="https://henruite.com">kompatybilna</a> z cleanroomami klasy 1–100, a dobór elementów zapewnia zerową emisję cząstek podczas pracy w stanie ustalonym. Zyskuje się niezawodność 24/7 bez nieplanowanych przestojów, a profile wypieku fotooporu są na tyle powtarzalne, że utrzymanie kontroli szerokości linii jest możliwe.</p>