http://ir-glass-heat.com/pl/tags/obr%C3%B3t/ Recent content in Obrót on Infrared Glass Heating Technology Hugo pl Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/pl/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/pl/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Lampa do wypalania powłoki rozprowadzanej wirówką"></p> <p>Na hali litografii, pół stopnia dryfu temperatury pieczenia wystarczy, by odrzucić całą partię waferów. Soft bake i hard bake to nie tylko cykle grzewcze — to kontrola wymiarowa. Jeśli lampa nie utrzyma zadanej wartości na całej powierzchni wafera, <a href="https://o-yate.com">jednorodno</a>ść CD się rozjeżdża, a wydajność spada.</p> <p>Lampę piecową spin coatera zbudowano w oparciu o halogen kwarcowy w zakresie bliskiej podczerwieni (NIR). Zapewnia szybki, bezpośredni efekt termiczny oraz stabilną emisję promieniowania. System celuje w jednorodność na poziomie wafera ±0,1°C, a powtarzalność gwarantuje stałą efektywność usuwania rozpuszczalnika z partii na partię.</p>