http://ir-glass-heat.com/nl/tags/zacht/ Recent content in Zacht on Infrared Glass Heating Technology Hugo nl Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/nl/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/nl/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Fotolakverzachtingsbakelamp"></p> <p>Op de lithografische ondergrond leidt een lichte afwijking in de baktemperatuur niet tot ernstige problemen. In plaats daarvan zie je verschillen in de dikte van de laag, opgeloste stoffen die nog in het fotoresistent zitten, en defecten die pas uren later optreden. Wat nodig is, is een lamp die de thermische omstandigheden in het fotoresistent precies op het gewenste niveau houdt – cyclus na cyclus.</p> <p><strong>Wat technisch gezien belangrijk is:</strong><br> We gebruiken near-infrarood-emitters met een spectraal spectrum dat erop is gericht om het fotoresistent snel en gelijkmatig te verwarmen. Hierdoor ontstaat er geen temperatuurverschil tussen het oppervlak en de bodem van de laag. De uniformiteit op het niveau van de wafer is ±0,1°C binnen de bakzone. Dit zorgt voor een reproduceerbare viscositeit en een consistent coatingproces. Het systeem blijft continu draaien, zonder dat er partikels worden geproduceerd – het is dus geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1 tot 100. De uitgangsintensiteit blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5%. Het thermische profiel blijft ook consistent van batch tot batch.</p>