http://ir-glass-heat.com/ms/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Glass Heating Technology Hugo ms Mon, 29 Jun 2026 07:07:42 +0800 http://ir-glass-heat.com/ms/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:07:42 +0800 http://ir-glass-heat.com/ms/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS"></p> <p>Lihatlah wafer yang keluar dari <a href="https://o-yate.com">stesen</a> pembilasan tersebut. Tidak boleh ada kesan air pada permukaan wafer tersebut. Bahan photoresist tidak boleh terjejas akibat perubahan suhu yang mendadak. Jika pemanas tidak dapat menghasilkan suhu yang sesuai, kualiti wafer akan menurun – ini bermakna perlu dilakukan proses pembaikan sekali lagi, dan sejumlah wafer perlu dibuang.</p> <p><strong>Apa yang berlaku secara teknikalnya?</strong><br> Kami membina pemanas untuk wafer sensor MEMS ini menggunakan elemen pemanas yang responsif dengan cepat, serta reka bentuk termal yang berdasarkan kuarsa. Reka bentuk ini memastikan suhu di seluruh permukaan wafer kekal dalam <a href="https://o-yate.net">lingkungan</a> ±0.1°C, agar proses pembakaran berjalan dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan.</p>