Pada lantai litografi, pemanas sokongan yang rosak semasa penyingkiran photoresist akan menghentikan barisan pengeluaran secara tiba-tiba. Wafer mula bertimbun dengan sisa, kadar buangan meningkat, dan penyusun jadual tiba-tiba menghadapi masalah. Anda hanya memerlukan kawalan terma yang tidak membebankan.
Apa yang penting, dari segi teknikal
Pemanas sokongan penyingkiran photoresist kami mengekalkan keseragaman suhu pada tahap wafer dalam lingkungan ±0.1°C di seluruh zon aktif, dan ia mengekalkan kestabilan setpoint sepanjang urutan pembakaran dan penyingkiran. Elemen kuarza dan laluan inframerah gelombang pendek terkawal memanaskan sasaran sahaja, jadi tiada penyebaran haba ke dalam alat di dalam ruang.
Perakitan ini dibina untuk bilik bersih Kelas 1–100, menggunakan bahan rendah pengeluaran gas dan kemasan permukaan yang mengekalkan kiraan zarah pada tahap stabil. Dalam operasi berbilang syif, anda boleh mengharapkan kebolehpercayaan 24/7 tanpa downtime tidak dirancang, serta profil suhu berulang yang mengekalkan dimensi kritikal mengikut spesifikasi.
Mengapa ia bertahan dalam proses sebenar
Prestasi penyingkiran bergantung pada bajet terma yang konsisten. Penstabilan suhu sokongan membolehkan pelarut dan kimia penyingkiran plasma berfungsi secara seragam, yang mengurangkan sisa dan kecacatan selepas penyingkiran.
Pembakaran lembut dan pembakaran keras juga menjadi lebih tepat. Ini meningkatkan kawalan lebar garisan dan mengurangkan kerja semula. Hasilnya ialah hasil lulus pertama yang lebih tinggi, kurang penyimpangan, dan penggunaan tenaga yang lebih rendah—kerana masa penyetelan kenaikan suhu yang lebih pantas dan kurang lebihan suhu.
Apa yang perlu dirancang
Pemanas ini dipasang ke dalam ruang penyingkiran dan plat sokongan yang sedia ada, tetapi antara muka mesti sepadan dengan titik pengikat mekanikal dan terma dengan tepat. Sediakan masa singkat untuk commissioning bagi melaras PID dan mengesahkan profil mengikut susunan resist anda.
Jangka hayat operasi bergantung pada atmosfera dan kitaran tugas. Jika anda menjalankan tugas kuasa tinggi, jadualkan pemeriksaan kuarza secara berkala untuk mengekalkan keseragaman di tahap yang sepatutnya.