http://ir-glass-heat.com/ko/tags/%ED%8F%B4%EB%A6%AC%EC%9D%B4%EB%AF%B8%EB%93%9C/ Recent content in 폴리이미드 on Infrared Glass Heating Technology Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="폴리이미드 베이크 적외선 램프"></p> <p>라인에서는 시간이 누구도 기다려주지 않는다. 300 mm 웨이퍼가 코팅에서 소프트 베이크를 거쳐 노광으로 흐르며, 초기에 설정한 열 예산은 CD 균일성, 사이드월 각도 그리고 궁극적으로 수율에 대한 규칙을 정한다. 베이크 램프가 드리프트를 시작하거나, 필드에 핫스폿을 발생시키거나, 완전히 고장 나면 라인이 멈추고, 대기열이 밀리며, 첫 패턴이 작성되기도 전에 웨이퍼당 비용이 상승한다.<br> 폴리이미드 베이크는 재현 가능한 열 처리에 달려 있다. 용매 폭발 없이, 스키닝 현상 없이, 입자를 추가하지 않고 레진을 적절한 Tg 영역으로 밀어 넣어야 한다. 적외선은 빠르고 안정적인 제어를 제공할 수 있지만, 방출기, 광학계, 제어 루프를 히터가 단순히 부착된 박스가 아닌 하나의 열 시스템으로 취급해야만 가능하다.</p>