http://ir-glass-heat.com/ko/tags/%EC%9B%A8%EC%9D%B4%ED%8D%BC/ Recent content in 웨이퍼 on Infrared Glass Heating Technology Hugo ko Mon, 27 Jul 2026 09:12:33 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/reducing-chamber-wall-heat-in-semiconductor-wafer-processing-via-directional-ir-heating/ Mon, 27 Jul 2026 09:12:33 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/reducing-chamber-wall-heat-in-semiconductor-wafer-processing-via-directional-ir-heating/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="웨이퍼용 고정밀 IR 센서"></p> <p>웨이퍼 처리 장치에서 열이 낭비되는 것을 막으세요.<br> 대부분의 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 웨이퍼를 가열할 때는 그 에너지가 웨이퍼에 직접 도달해야 합니다. 결코 값비싼 기계의 내벽에 열이 전달되는 것을 원하지 않습니다.<br> 만약 장비가 거대한 열 싱크처럼 작동한다면 상황은 더욱 복잡해집니다. 에너지가 낭비되고, 기계의 프레임도 열로 인해 팽창하기 시작합니다. 이는 전혀 원치 않는 문제입니다.</p> http://ir-glass-heat.com/ko/posts/ensuring-electrical-integrity-in-energy-efficient-wafer-heaters-through-100-dielectric-testing/ Mon, 27 Jul 2026 06:32:41 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/ensuring-electrical-integrity-in-energy-efficient-wafer-heaters-through-100-dielectric-testing/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="에너지 효율적인 웨이퍼 히터"></p> <p>왜 웨이퍼 히터의 절연 성능을 꼼꼼하게 테스트해야 하는가?<br> 우리가 만드는 웨이퍼 히터는 매우 높은 효율성을 요구하면서도 엄격한 열 관련 기준을 충족해야 합니다. 문제는, 고출력을 작은 공간에 집어넣으려 할 때 오차의 여지가 전혀 없다는 것입니다. 절연체에 아주 작은 구멍이라도 생기면 장비가 고장 나거나 기판이 손상될 수 있습니다.</p> http://ir-glass-heat.com/ko/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ Mon, 20 Jul 2026 11:43:19 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼 경화용 반사기"></p> <p>왜 웨이퍼 경화 과정에서 뜨거운 공기 대신 적외선 반사체를 사용하는가?<br> <a href="https://o-yate.com">半導体</a> 제조 과정에 종사해본 사람이라면 뜨거운 공기를 이용하는 방식의 문제점을 잘 알고 있을 것입니다. 이 방식은 매우 느립니다. 엄청난 양의 공기를 가열해야만 작은 웨이퍼에 열이 전달됩니다. 마치 집 안을 따뜻하게 하려고 먼저 차도를 가열하는 것과 같습니다.<br> 그래서 우리는 적외선을 이용한 가열 방식으로 전환했습니다. 공기를 기다릴 필요 없이, 적외선은 직접적으로 목표물에 에너지를 전달합니다. 정말 효율적인 방법이죠.</p> http://ir-glass-heat.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Thu, 09 Jul 2026 04:08:36 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="웨이퍼 공정용 온도 센서"></p> <p>와이어 처리 과정에서는 모든 와트의 에너지가 제 역할을 해야 합니다. 기존의 방식인 표준 온도 센서를 사용할 경우, 엄청난 양의 열이 공기 중으로 낭비됩니다. 이는 큰 낭비입니다. 그래서 우리는 금으로 된 코팅이 적용된 온도 센서를 만들었습니다. 이 센서는 열을 다시 원래 위치로 되돌려보내는 역할을 합니다.</p> http://ir-glass-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:07:41 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>웨이퍼가 세척 공정을 거친 후 나오는 모습을 보세요. 물자국이 있어서는 안 됩니다. 포토레지스트는 급격한 온도 변화를 견딜 수 없습니다. 건조기가 적절한 온도를 유지하지 못하면, 제품의 품질이 떨어지게 되고, 재작업이 필요해지며, 결국 해당 로트는 폐기되어야 합니다.</p> http://ir-glass-heat.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="웨이퍼 수분 제거 램프"></p> <p>팹 내부에서는 청소 후에 남아 있는 수분이 단순한 성가신 문제가 아닙니다. 이 수분은 소프트 베이킹 과정에서 포토레지스트에 스며들어 제품의 치수를 변화시키고, 그 결과 생산 효율이 저하됩니다. 웨이퍼의 수분을 제거하는 램프는 이러한 문제를 직접 해결해줍니다. 즉, 리소그래피 공정이 손상되기 전에 표면의 수분을 제거해주는 것입니다.</p> http://ir-glass-heat.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sun, 21 Jun 2026 06:19:24 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="웨이퍼 가열을 위한 안전 거리"></p> <p>생산 현장에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 매우 중요합니다. 온도 변동이 10ms만 있어도, 히터와 웨이퍼 사이의 정렬 오차가 1mm만 있어도 패턴이 망가지거나 가장자리에 결함이 생길 수 있습니다. 웨이퍼를 가열할 때 유지해야 하는 안전 거리는 단순한 편안한 공간이 아니라, 제품의 품질과 장비의 성능을 보호하기 위한 필수적인 한계선입니다.</p> http://ir-glass-heat.com/ko/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="사파이어 웨이퍼 처리 히터"></p> <p>fab 라인에서는 2인치 사파이어 웨이퍼가 리소그래피 트랙 아래에 놓여 소프트 베이크를 기다리고 있다. 표면 전체에 110°C가 도달해야 하며, 단지 열전대가 측정하는 부분만이 아니다. 온도가 낮으면 포토레지스트 프로파일이 변형되고, 너무 높이면 열 예산을 초과하게 된다.</p>