http://ir-glass-heat.com/ko/tags/%EC%97%AC%EB%B6%84%EC%9D%98-%EC%98%88%EB%B9%84%EC%9D%98/ Recent content in 여분의; 예비의 on Infrared Glass Heating Technology Hugo ko Tue, 09 Jun 2026 03:40:12 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Tue, 09 Jun 2026 03:40:12 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Leybold 진공 히터 부품"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>웨이퍼 플로어에서 포토레지스트 베이크는 단순한 베이크가 아니라 열에너지 예산이다. 필드 전체에서 0.5도 변화만 있어도 중요 치수가 움직일 수 있으며, 재현되지 않는 열 프로파일은 수율을 빠르게 저하시키는 원인이 된다. Leybold 진공 히터가 성능 저하를 시작하면, 리소그래피 허용오차가 좁아지고 웨이퍼가 에칭에 들어가기 전부터 스크랩이 증가한다.</p>