http://ir-glass-heat.com/ko/tags/%EC%88%98%EB%B6%84/ Recent content in 수분 on Infrared Glass Heating Technology Hugo ko Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="웨이퍼 수분 제거 램프"></p> <p>팹 내부에서는 청소 후에 남아 있는 수분이 단순한 성가신 문제가 아닙니다. 이 수분은 소프트 베이킹 과정에서 포토레지스트에 스며들어 제품의 치수를 변화시키고, 그 결과 생산 효율이 저하됩니다. 웨이퍼의 수분을 제거하는 램프는 이러한 문제를 직접 해결해줍니다. 즉, 리소그래피 공정이 손상되기 전에 표면의 수분을 제거해주는 것입니다.</p>