http://ir-glass-heat.com/ko/tags/%EC%82%AC%ED%8C%8C%EC%9D%B4%EC%96%B4/ Recent content in 사파이어 on Infrared Glass Heating Technology Hugo ko Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="사파이어 웨이퍼 처리 히터"></p> <p>fab 라인에서는 2인치 사파이어 웨이퍼가 리소그래피 트랙 아래에 놓여 소프트 베이크를 기다리고 있다. 표면 전체에 110°C가 도달해야 하며, 단지 열전대가 측정하는 부분만이 아니다. 온도가 낮으면 포토레지스트 프로파일이 변형되고, 너무 높이면 열 예산을 초과하게 된다.</p>