http://ir-glass-heat.com/ko/tags/%EB%B6%80%EB%93%9C%EB%9F%AC%EC%9A%B4/ Recent content in 부드러운 on Infrared Glass Heating Technology Hugo ko Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="포토레지스트 소프트 베이크 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 낮은 온도에서의 건조 과정에서 발생하는 미세한 온도 변동이 그다지 심각한 문제로 나타나지 않습니다. 대신, 선의 굵기 변화나 레지스트 내에 남아 있는 용매, 그리고 몇 시간 후에야 발견되는 불량 부분들이 문제가 됩니다. 따라서 중요한 것은, 사이클마다 레지스트의 온도를 정확하게 유지해주는 조명 장치입니다.</p>