IR on Infrared Glass Heating Technology

ウェーハ用高精度IRセンサー

Mon, 27 Jul 2026 09:12:33 +0800

ウェーハチャンバー内での熱の無駄遣いをやめましょう。
ほとんどの赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放出されてしまうのです。半導体ウェーハを加熱する際には、そのエネルギーが基板上に届くことが望ましいのです。高価な機械の内壁に熱が浸透してしまうのは避けたいものです。
機器が巨大な放熱体のように機能してしまうと、状況は悪化します。電力が無駄に消費され、機械のフレームも熱で膨張してしまいます。これは本当に面倒な問題です。

IRエミッタ用セラミックエンドキャップ

Sat, 25 Jul 2026 05:02:06 +0800

1つの故障したIRランプが全ての製品を台無しにするのを防ぐ

高負荷の半導体製造を行っている人なら、その悩みはよくわかるでしょう。1つのIRランプが故障するだけで、単にヒーターが使えなくなるだけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントが至る所に散乱し、製造現場が混乱状態に陥ります。
1回の故障で、大量のウェーハが無駄になってしまいます。本当に大変で、コストも莫大です。
そんな状況を避けるために、私たちはセラミック製のエンドキャップを開発しました。

混乱を内部に閉じ込める

一般的なIRランプでは、単純なクリンプ式のシールが使われています。しばらくは問題ありませんが、過度な熱サイクルによって徐々に劣化してしまいます。疲労してしまい、最終的には機能しなくなります。
私たちは、そのような単純なシールの代わりに、高純度のセラミック製エンドキャップを使用しました。これらはまるで物理的な盾のような役割を果たします。もし石英の外殻が壊れても、セラミック製のケースが破片を受け止めてくれます。そうすれば、粒子がウェーハ表面に飛び散ることを防げます。

赤外線ランプ用アルミニウム反射板

Fri, 24 Jul 2026 11:44:55 +0800

マシンを加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう。
IRランプの問題点は、放射能があらゆる方向に放出されることです。反射器がなければ、エネルギーの半分が逆方向に向かい、機器の筐体や内壁を過度に加熱してしまいます。
半導体製造装置では、これは大きな問題です。結果として「高温の壁」ができてしまい、作業員が火傷したり、プロセスの温度が安定しなくなったりします。
だからこそ、精密に設計されたアルミニウム製の反射器を使用するのです。これにより、エネルギーを「前方に向ける」ことができます。