http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E7%A0%94%E7%A9%B6/ Recent content in 研究 on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Sat, 04 Jul 2026 11:11:49 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/lam-research-heater-replacement/ Sat, 04 Jul 2026 11:11:49 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/lam-research-heater-replacement/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ラム・リサーチのヒーター交換"></p> <h1 id="lam-researchのヒーター交換実際に効果的な仕様に合わせた赤外線ヒーターの交換方法">Lam Researchのヒーター交換：実際に効果的な、仕様に合わせた赤外線ヒーターの交換方法</h1> <p>さっそく本題に入りましょう。 Lam Researchのプラットフォームに物理的に取り付け可能なヒーターランプは簡単に見つかります。しかし、実際にその機能を果たせるでしょうか？チャンバーの熱的要求に応えられ、同じ電力で動作し、かつプロセス全体を再設計する必要なく、厳格な精度を維持できるでしょうか？ それが真の問題です。 そこで私たちは、短波赤外線（IR）クォーツチューブを用いて交換用ヒーターを開発しました。これはLam社の機器と完全に互換性のあるように設計されており、単一の解決策ではありません。これは、生産を維持しつつコストを管理したいエンジニア向けのものです。</p>