http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="フォトレジストソフトベイクランプ"></p> <p>リソグラフィー装置のフロア上では、低温での焼成による影響は明らかな故障としては現れません。代わりに、線幅の<a href="https://o-yate.net">変動</a>やレジスト内に残留する溶剤、そして数時間後に発生するスクラップといった問題が現れます。必要なのは、回を重ねても、レジストの温度を所定の範囲内に保つことができるランプです。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、レジストを迅速かつ均一に加熱できるように、スペクトル出力が最適化された近赤外線ランプを使用しています。そうすることで、フィルムの表面と底部の間で温度差が生じることがありません。ウェーハ全体での温度のばらつきは±0.1℃程度であり、これにより粘度の再現性や塗布性能が向上します。このシステムは連続して稼働し続け、粒子の発生もありません。クラス1からクラス100までのクリーンルーム環境にも適しています。出力は5,000時間以上にわたって安定しており、強度の変動は5％未満です。また、ロットごとにも熱特性が安定しています。</p> http://ir-glass-heat.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="スピンコーター ベイクランプ"></p> <h1 id="リソグラフィ工程においてベイク温度の05のドリフトはウェーハロット全体の廃棄を招く要因となるソフトベイクおよびハードベイクは単なる加熱サイクルではなく寸法管理そのものであるランプがウェーハ全体で設定温度を維持できなければcd均一性が崩れ歩留まりにも悪影響を及ぼす">リソグラフィ工程において、ベイク温度の0.5℃のドリフトは、ウェーハロット全体の廃棄を招く要因となる。ソフトベイクおよびハードベイクは単なる加熱サイクルではなく、寸法<a href="https://o-yate.net">管理</a>そのものである。ランプがウェーハ全体で設定温度を維持できなければ、CD均一性が崩れ、歩留まりにも悪影響を及ぼす。</h1> <p>スピンコーターのベイクランプには近赤外線（NIR）クォーツハロゲンを採用している。これにより高速かつ直接的な熱応答と安定した放射出力が得られる。システムはウェーハレベルで±0.1℃の均一性を目標としており、繰り返し性により溶剤除去を安定的に維持できる。</p> http://ir-glass-heat.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ポリイミド焼成赤外線ランプ"></p> <p>ライン上では、時間は誰も待ってくれない。300 mmウェーハはコートからソフトベークへ、次に露光へと流れ、その最初の数分間で設定した熱予算がCD均一性、側壁角度、そして最終的には歩留まりのルールを決定する。ベークランプがドリフトを始め、フィールドにホットスポットを散らしたり、完全に故障したりすると、ラインは停止し、キューが溜まり、最初のパターンが書き込まれる前にウェーハあたりのコストが上昇する。</p>