http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E6%B0%B4%E5%88%86/ Recent content in 水分 on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ除湿ランプ"></p> <p>ファブ内では、クリーニング後に残った水分は単なる迷惑な存在ではありません。その水分はソフトベイクの際にフォトレジストに浸透し、部品の寸法を変化させてしまいます。その結果、歩留まりが低下してしまいます。ウェハ用の水分除去ランプは、この問題に対処するために、リソグラフィ工程が損なわれる前に表面の水分を除去します。</p>