http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E6%9F%94%E3%82%89%E3%81%8B%E3%81%84/ Recent content in 柔らかい on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="フォトレジストソフトベイクランプ"></p> <p>リソグラフィー装置のフロア上では、低温での焼成による影響は明らかな故障としては現れません。代わりに、線幅の<a href="https://o-yate.net">変動</a>やレジスト内に残留する溶剤、そして数時間後に発生するスクラップといった問題が現れます。必要なのは、回を重ねても、レジストの温度を所定の範囲内に保つことができるランプです。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、レジストを迅速かつ均一に加熱できるように、スペクトル出力が最適化された近赤外線ランプを使用しています。そうすることで、フィルムの表面と底部の間で温度差が生じることがありません。ウェーハ全体での温度のばらつきは±0.1℃程度であり、これにより粘度の再現性や塗布性能が向上します。このシステムは連続して稼働し続け、粒子の発生もありません。クラス1からクラス100までのクリーンルーム環境にも適しています。出力は5,000時間以上にわたって安定しており、強度の変動は5％未満です。また、ロットごとにも熱特性が安定しています。</p>