http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E4%BA%88%E5%82%99%E3%81%AE/ Recent content in 予備の on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Tue, 09 Jun 2026 03:40:12 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Tue, 09 Jun 2026 03:40:12 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ライボルト 真空ヒーター 予備部品"></p> <p>ウェーハフロアでは、フォトレジストのベイクは単なる加熱ではなく、熱予算の管理である。フィールド全体で0.5℃のずれが生じると、クリティカルディメンションが変わりかねない。また、再現性のない熱プロファイルは歩留まりを急激に低下させる。Leyboldの真空ヒーターの性能が低下し始めると、リソグラフィの許容差が厳しくなり、ウェーハがエッチングにかかる前にスクラップ率が増加する。</p>