乾燥 on Infrared Glass Heating Technology

製造工程における乾燥処理のエネルギー診断

Fri, 24 Jul 2026 12:00:39 +0800

ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ赤外線加熱が最適なのか
正直に言えば、多くのファブでは依然として古い方式の対流式オーブンや従来のヒーターを使ってウェーハを乾燥させています。これがこれまでの慣習です。しかし問題は、こうしたシステムはエネルギー消費が激しいということです。数枚のウェーハを乾燥させるためだけに、チャンバー内の空気全体を加熱する必要があります。これは単純なエネルギーの無駄遣いです。

私たちはより良い方法を見つけました。それは、従来のヒーターの代わりに目的別に設計された赤外線ランプを使用することです。そうすれば、エネルギー消費を大幅に削減し、乾燥工程による二酸化炭素排出量を減らすことができます。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Mon, 29 Jun 2026 07:07:40 +0800

ウェーハが洗浄ステーションから出てくる様子を見てください。水滴の跡があってはいけません。フォトレジストは急な温度変化に耐えられません。もし乾燥機が適切な温度を維持できないと、歩留まりが悪くなり、再加工が必要になり、結果としてロット全体が廃棄されてしまいます。

フォトレジスト乾燥用赤外線モジュール

Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800

リソグラフィーの工程において、ソフトベイク時の温度の偏差が半度程度あっても、それは「許容範囲」とは言えません。その場合、ウェーハは廃棄処分されます。フォトレジストの乾燥は温度管理によって左右され、赤外線モジュールは、歩留まりを決定する重要な要素となります。

実際に重要なのは何か 私たちは、ウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に保つ赤外線フォトレジスト乾燥モジュールを使用しています。また、ベイクプロファイルもバッチごとに一定に保たれます。エミッターとしては、近赤外線が選ばれています。これにより、迅速で正確な反応が得られ、スペクトル制御も容易になります。これにより、温度の遅れや過剰な上昇を防ぐことができます。このシステムは、クラス1～100の清浄室向けに設計されており、粒子の発生を完全に防ぐようになっています。また、24時間365日稼働し、計画外の停止がないようになっています。メンテナンスのタイミングも、製造ラインの切り替え時に合わせて行われます。

衣類乾燥ヒーター

Thu, 28 May 2026 01:13:11 +0800

なぜ全てのヒーターを例外なくバーンインテストするのか

生産ラインを稼働させていると、ランプ1つの故障が単に作業を遅らせるだけでなく、すべてを停止させてしまいます。この点は理解しています。だからこそ、当社が出荷するすべてのヒーターは、工場から出る前にフルパワーのバーンインテストを必ず実施しています。
これは単なるチェック項目ではなく、製品を作る上での基本的な工程です。このテストでは、ヒーターを所定時間フルワット数で運転し、初期不良を検出します。具体的には、はんだ付けの不安定な箇所、ぎりぎりの部品、問題のあるフィラメントなどを見逃しません。スポットチェックでは見落とされることが多い問題を、我々は確実に検出します。
結果として得られるのは、使用開始直後から安定した熱性能です。重要な乾燥サイクルの途中で予期せぬトラブルが起きることはありません。必要なときに安定した熱を提供します。