http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E3%83%A2%E3%82%B8%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%AB/ Recent content in モジュール on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="フォトレジスト乾燥用赤外線モジュール"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ソフトベイク時の<a href="https://o-yate.net">温度</a>の偏差が半度程度あっても、それは「許容範囲」とは言えません。その場合、ウェーハは廃棄処分されます。フォトレジストの乾燥は温度管理によって左右され、赤外線モジュールは、歩留まりを決定する重要な要素となります。</p> <p><strong>実際に重要なのは何か</strong> 私たちは、ウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に保つ赤外線フォトレジスト乾燥モジュールを使用しています。また、ベイクプロファイルもバッチごとに一定に保たれます。エミッターとしては、近赤外線が選ばれています。これにより、<a href="https://henruite.com">迅速</a>で正確な反応が得られ、スペクトル制御も容易になります。これにより、温度の遅れや過剰な上昇を防ぐことができます。このシステムは、クラス1～100の清浄室向けに設計されており、粒子の<a href="https://o-yate.com">発生</a>を完全に防ぐようになっています。また、24時間365日稼働し、計画外の停止がないようになっています。メンテナンスのタイミングも、<a href="https://goldisgood.com">製造</a>ラインの切り替え時に合わせて行われます。</p>