http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E3%83%9D%E3%83%AA%E3%82%A4%E3%83%9F%E3%83%89/ Recent content in ポリイミド on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ポリイミド焼成赤外線ランプ"></p> <p>ライン上では、時間は誰も待ってくれない。300 mmウェーハはコートからソフトベークへ、次に露光へと流れ、その最初の数分間で設定した熱予算がCD均一性、側壁角度、そして最終的には歩留まりのルールを決定する。ベークランプがドリフトを始め、フィールドにホットスポットを散らしたり、完全に故障したりすると、ラインは停止し、キューが溜まり、最初のパターンが書き込まれる前にウェーハあたりのコストが上昇する。</p>