http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E3%82%B9%E3%83%94%E3%83%B3/ Recent content in スピン on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="スピンコーター ベイクランプ"></p> <h1 id="リソグラフィ工程においてベイク温度の05のドリフトはウェーハロット全体の廃棄を招く要因となるソフトベイクおよびハードベイクは単なる加熱サイクルではなく寸法管理そのものであるランプがウェーハ全体で設定温度を維持できなければcd均一性が崩れ歩留まりにも悪影響を及ぼす">リソグラフィ工程において、ベイク温度の0.5℃のドリフトは、ウェーハロット全体の廃棄を招く要因となる。ソフトベイクおよびハードベイクは単なる加熱サイクルではなく、寸法<a href="https://o-yate.net">管理</a>そのものである。ランプがウェーハ全体で設定温度を維持できなければ、CD均一性が崩れ、歩留まりにも悪影響を及ぼす。</h1> <p>スピンコーターのベイクランプには近赤外線（NIR）クォーツハロゲンを採用している。これにより高速かつ直接的な熱応答と安定した放射出力が得られる。システムはウェーハレベルで±0.1℃の均一性を目標としており、繰り返し性により溶剤除去を安定的に維持できる。</p>