http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E3%82%B5%E3%83%95%E3%82%A1%E3%82%A4%E3%82%A2/ Recent content in サファイア on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="サファイアウエハ処理ヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、その2インチサファイアウエハがリソグラフィトラックの下に置かれ、ソフトベイクを待っている。熱電対が示す温度だけでなく、ウエハ全体で110℃が必要だ。これより低ければフォトレジストのプロファイルがずれ、高ければ熱予算を消費してしまう。</p>