エネルギー on Infrared Glass Heating Technology

省エネ型ウェーハヒーター

Mon, 27 Jul 2026 06:32:21 +0800

なぜウェーハヒーターの絶縁性能テストを徹底的に行うのか？私たちが作るウェーハヒーターは、非常に高い効率を発揮しつつ、厳しい熱的条件を満たさなければなりません。問題は、大量の電力を狭い空間に詰め込むと、ミスの余地が全くないということです。絶縁体にわずかな隙間があっただけで、装置が故障したり、基板が汚染されたりしてしまいます。だからこそ、私たちは「抜き打ち検査」を信頼していません。私たちの工場を出るすべてのヒーターは、完全な耐電圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。

製造工程における乾燥処理のエネルギー診断

Fri, 24 Jul 2026 12:00:39 +0800

ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ赤外線加熱が最適なのか
正直に言えば、多くのファブでは依然として古い方式の対流式オーブンや従来のヒーターを使ってウェーハを乾燥させています。これがこれまでの慣習です。しかし問題は、こうしたシステムはエネルギー消費が激しいということです。数枚のウェーハを乾燥させるためだけに、チャンバー内の空気全体を加熱する必要があります。これは単純なエネルギーの無駄遣いです。

私たちはより良い方法を見つけました。それは、従来のヒーターの代わりに目的別に設計された赤外線ランプを使用することです。そうすれば、エネルギー消費を大幅に削減し、乾燥工程による二酸化炭素排出量を減らすことができます。

省エネ型半導体ヒーター

Sun, 12 Jul 2026 09:58:45 +0800

フレークの発生を防ぐ：クラス100のクリーンルームでの加熱対策

クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営している方なら、ガス放出による問題がどれほど深刻かご存知でしょう。わずかな破片やVOCがウエハーに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。