http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F/ Recent content in ウエハ on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 06:19:24 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sun, 21 Jun 2026 06:19:24 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハ加熱時の安全距離"></p> <p>ファブの<a href="https://o-yate.com">現場</a>では、フォトレジストの焼成処理は、厳守しなければならない熱的条件に関わるプロセスです。温度が10ミリ秒だけ変動したり、ヒーターとウェーハの間の位置が1ミリだけずれてしまうだけで、パターンが崩れたり、端部分に不良が発生したり、最悪の場合はロット全体が廃棄されてしまいます。ウェーハを加熱する際のこの安全距離は、単なる余裕範囲ではなく、歩留まりや装置の健全性を維持するための重要な境界線なのです。</p> <p>私たちが開発した加熱モジュールは、一定の安全距離を保ちながら設置されており、高温領域が敏感な光学部品やウェーハチャックから隔離されているため、効率的かつ迅速な熱伝達が可能です。このシステムにより、ウェーハ全体で±0.1℃の均一性が保たれ、ソフトベイクやハードベイクのプロセスも所定の温度条件内で行われます。</p>