http://ir-glass-heat.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%BC%E3%83%8F/ Recent content in ウェーハ on Infrared Glass Heating Technology Hugo ja Mon, 27 Jul 2026 09:12:33 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/reducing-chamber-wall-heat-in-semiconductor-wafer-processing-via-directional-ir-heating/ Mon, 27 Jul 2026 09:12:33 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/reducing-chamber-wall-heat-in-semiconductor-wafer-processing-via-directional-ir-heating/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <p>ウェーハチャンバー内での熱の<a href="https://henruite.com">無駄遣</a>いをやめましょう。<br> ほとんどの赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放出されてしまうのです。半導体ウェーハを加熱する際には、そのエネルギーが基板上に届くことが望ましいのです。高価な機械の内壁に熱が浸透してしまうのは避けたいものです。<br> 機器が巨大な放熱体のように機能してしまうと、状況は悪化します。電力が無駄に消費され、機械のフレームも熱で膨張してしまいます。これは本当に面倒な問題です。</p> http://ir-glass-heat.com/ja/posts/ensuring-electrical-integrity-in-energy-efficient-wafer-heaters-through-100-dielectric-testing/ Mon, 27 Jul 2026 06:32:21 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/ensuring-electrical-integrity-in-energy-efficient-wafer-heaters-through-100-dielectric-testing/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="省エネ型ウェーハヒーター"></p> <p>なぜウェーハヒーターの絶縁性能テストを徹底的に行うのか？ 私たちが作るウェーハヒーターは、非常に高い効率を発揮しつつ、厳しい熱的条件を満たさなければなりません。問題は、大量の電力を狭い空間に詰め込むと、ミスの余地が全くないということです。絶縁体にわずかな隙間があっただけで、<a href="https://o-yate.net">装置</a>が故障したり、基板が汚染されたりしてしまいます。 だからこそ、私たちは「抜き打ち検査」を信頼していません。私たちの工場を出るすべてのヒーターは、完全な耐電圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。</p> http://ir-glass-heat.com/ja/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ Mon, 20 Jul 2026 11:43:19 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウェーハ硬化ランプ用反射板"></p> <p>なぜウェーハの硬化処理において、熱風ではなく<a href="https://goldisgood.com">赤外線反射</a>器を使うのか<br> 半導体製造に携わったことがある人なら、熱風を使った加熱方式の非効率さはよく知っているでしょう。とても遅いのです。巨大な空間全体を加熱して、わずかなウェーハに熱を伝えるというのは、まるで家全体を温めるためにまず車道を温めようとするようなものです。</p> http://ir-glass-heat.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Thu, 09 Jul 2026 04:08:36 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ加工ツール用温度センサー"></p> <p>ウェハ処理において、1ワットのエネルギーも無駄にしてはいけない。従来の方法では、一般的な温度センサーを使用するため、大量の熱が空気中に放出されてしまう。これは明らかな無駄だ。そこで私たちは、金でコーティングされた温度センサーを開発した。これにより、熱を本来あるべき場所に戻すことができる。</p> http://ir-glass-heat.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:07:40 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>ウェーハが洗浄ステーションから出てくる様子を見てください。水滴の跡があってはいけません。フォトレジストは急な温度変化に耐えられません。もし乾燥機が適切な温度を維持できないと、歩留まりが悪くなり、再加工が必要になり、結果としてロット全体が廃棄されてしまいます。</p> http://ir-glass-heat.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ除湿ランプ"></p> <p>ファブ内では、クリーニング後に残った水分は単なる迷惑な存在ではありません。その水分はソフトベイクの際にフォトレジストに浸透し、部品の寸法を変化させてしまいます。その結果、歩留まりが低下してしまいます。ウェハ用の水分除去ランプは、この問題に対処するために、リソグラフィ工程が損なわれる前に表面の水分を除去します。</p>