http://ir-glass-heat.com/it/tags/zaffiro/ Recent content in Zaffiro on Infrared Glass Heating Technology Hugo it Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/it/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/it/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Riscaldatore per il trattamento di wafer di zaffiro"></p> <p>Sul piano di produzione, quel wafer di zaffiro da 2 pollici è posizionato sotto la linea di litografia, in attesa del Soft Bake. Serve una temperatura di 110°C su tutta la superficie, non solo quella rilevata dal termocoppia. Temperature inferiori causano uno spostamento del profilo del fotoresist; temperature superiori incidono negativamente sul budget termico.</p> <h2 id="cosa-conta-realmente-dal-punto-di-vista-tecnico">Cosa conta realmente, dal punto di vista tecnico</h2> <p>I <a href="https://o-yate.com">riscaldatori</a> impiegati per il trattamento dei wafer di zaffiro sono emettitori a quarzo a infrarossi a onda corta (SWIR). Erogano calore in modo diretto e rapido, con scarsissima inerzia termica. L’uniformità a livello wafer è mantenuta entro ±0,1°C sull’intero chuck, mentre la ripetibilità tra cicli si attesta entro ±0,2°C.<br> La piattaforma è compatibile con cleanroom Class 1–100 e i componenti sono selezionati per evitare la generazione di particelle durante il funzionamento in regime stazionario. Si garantisce affidabilità 24/7 senza fermi non programmati, e i profili di cottura del fotoresist sono sufficientemente ripetibili per assicurare il controllo costante della larghezza delle linee.</p>