Lampada a infrarossi per cottura poliimmide

Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800

Sulla linea, l’orologio non aspetta nessuno. Un wafer da 300 mm passa da coat a soft bake, poi all’esposizione, e il budget termico impostato nei primi minuti detta le regole per l’uniformità del CD, l’angolo della parete laterale e—alla fine—la resa. Quando la lampada di bake inizia a deviare, crea hotspot nel campo o si guasta completamente, la linea si ferma, la coda si accumula e il costo per wafer sale prima ancora che il primo pattern venga scritto.
Il bake della poliimmide si basa su un calore ripetibile. Bisogna far entrare la resina nella finestra corretta di Tg senza esplosioni di solvente, senza formazione di pellicola superficiale e senza aggiunta di particelle. L’infrarosso può garantire questo controllo—veloce e stabile—ma solo se l’emettitore, l’ottica e il ciclo di controllo sono trattati come un unico sistema termico, non come una scatola con un riscaldatore montato sopra.

Polimide on Infrared Glass Heating Technology

Lampada a infrarossi per cottura poliimmide