Filamento di ricambio per lampada fab

Thu, 02 Jul 2026 08:50:07 +0800

Nelle linee di produzione, la litografia e le fasi di essiccazione del fotoresistente non possono tollerare alcuna variazione nelle condizioni termiche. Anche un leggero cambiamento nell’output della lampada, di pochi gradi, può compromettere il bilanciamento termico, facendo fermare il processo di produzione. Abbiamo progettato questo filamento di ricambio per mantenere costanti le condizioni termiche, fase dopo fase.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Il filamento è stato progettato appositamente per essere utilizzato con lampade ad azione alcalina: presenta una geometria precisa e permette un’accensione ripetibile. Garantisce stabilità spettrale sia nelle lunghezze d’onda corte che medie, così che la temperatura del wafer rimanga entro i limiti di ±0,1°C rispetto ai valori previsti dal procedimento di produzione. Inoltre, assicura un’emissività costante, una resistenza stabile e un comportamento prevedibile durante il riscaldamento, garantendo così che le fasi di essiccazione avvengano correttamente. Il filamento è adatto all’uso in ambienti puliti di classe 1–100, con bassa emissione di gas e assenza di particelle durante l’avvio o in condizioni di funzionamento normale.

Filamento on Infrared Glass Heating Technology

Filamento di ricambio per lampada fab