Sul piano di lavorazione in pietra, le piccole variazioni nella temperatura di cottura non si manifestano come problemi evidenti. Si manifestano...

Sulla linea di litografia, uno scostamento di mezzo grado nella temperatura di cottura è sufficiente a scartare un intero lotto di wafer. Il soft...

Sulla linea, l’orologio non aspetta nessuno. Un wafer da 300 mm passa da coat a soft bake, poi all’esposizione, e il budget termico impostato nei...