http://ir-glass-heat.com/id/tags/safir/ Recent content in Safir on Infrared Glass Heating Technology Hugo id Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/id/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/id/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Pemanas pemrosesan wafer safir"></p> <p>Di lantai fab, wafer safir 2 inci itu terpasang di bawah track litografi, menunggu Soft Bake. Anda membutuhkan 110°C di seluruh permukaan, bukan hanya yang terbaca di termokopel. Jika lebih rendah, profil fotoresist akan bergeser. Jika lebih tinggi, Anda akan membakar anggaran termal Anda.</p> <h2 id="apa-yang-sebenarnya-penting-secara-teknis">Apa yang sebenarnya penting, secara teknis</h2> <p>Pemanas yang kami gunakan untuk pemrosesan wafer safir adalah emitter kuarsa inframerah gelombang pendek (SWIR). Mereka mengalirkan panas secara langsung dan cepat, dengan inersia termal yang sangat kecil. Keseragaman tingkat wafer terjaga pada ±0,1°C di seluruh chuck, dan repeatabilitas antar shift tetap dalam ±0,2°C.<br> Platform ini kompatibel dengan ruang bersih kelas 1–100, dan komponen dipilih agar generasi partikel tetap nol selama operasi stabil. Anda mendapatkan keandalan 24/7 tanpa downtime tak terduga, dan profil pemanggangan fotoresist cukup konsisten untuk menjaga pengendalian lebar garis.</p>