http://ir-glass-heat.com/id/tags/modul/ Recent content in Modul on Infrared Glass Heating Technology Hugo id Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/id/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/id/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Modul pengeringan photoresist menggunakan inframerah"></p> <p>Di lantai litografi, penyimpangan suhu sebesar setengah derajat selama proses pengeringan fotoresist bukanlah hal yang masih bisa diterima. Hal tersebut berarti wafer tersebut <a href="https://o-yate.com">harus</a> dibuang. Proses pengeringan fotoresist sangat bergantung pada kontrol suhu yang tepat; modul inframerah merupakan faktor kunci yang <a href="https://henruite.com">menentukan</a> apakah produksi akan berhasil atau gagal.</p> <p><strong>Apa yang benar-benar penting dalam proses ini?</strong> Kami menggunakan modul pengeringan fotoresist berbasis inframerah yang mampu menjaga keseragaman suhu di tingkat wafer hingga ±0,1°C. Modul ini juga memastikan bahwa profil suhu tetap konsisten dari satu batch ke batch lainnya. Pemilihan jenis emitor dilakukan dengan cermat: inframerah dekat, karena memberikan respons yang cepat serta kontrol spektral yang baik. Dengan demikian, gangguan suhu dapat dihindari. Sistem ini dirancang untuk digunakan di ruang kerja bersih kelas 1–100, dan dirancang agar tidak menghasilkan partikel sama sekali, sesuai dengan hasil pemantauan partikel secara langsung. Sistem ini dirancang untuk beroperasi 24/7 tanpa henti, dan waktu servisnya disesuaikan dengan proses pergantian produksi.</p>