http://ir-glass-heat.com/id/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Glass Heating Technology Hugo id Mon, 29 Jun 2026 07:07:42 +0800 http://ir-glass-heat.com/id/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:07:42 +0800 http://ir-glass-heat.com/id/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS"></p> <p>Lihatlah bagaimana wafer tersebut keluar dari stasiun pembersihan. Tidak boleh ada bekas air pada permukaan wafer tersebut. Photoresist tidak boleh terkena pengaruh suhu yang ekstrem. Jika alat pengering tidak mampu mencapai suhu yang tepat, kualitas produk akan menurun—artinya perlu dilakukan proses perbaikan lagi, dan sebagian produk harus dibuang.</p> <p><strong>Secara teknis, apa yang ada di baliknya?</strong> Kami merancang pemanas untuk wafer sensor MEMS ini dengan menggunakan elemen pemanas yang responsif dan cocok digunakan di ruang bersih, serta desain termal berbasis kuarsa. Hal ini memungkinkan suhu di seluruh permukaan wafer tetap konstan, dalam rentang ±0,1°C. Dengan demikian, proses pembakaran wafer dapat berjalan sesuai resep yang ditentukan.</p>