Lampu pengeringan fotoresist jenis soft bake

Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800

Pada lantai litografi, fluktuasi suhu pengeringan yang ringan tidak menyebabkan kegagalan yang signifikan. Fluktuasi tersebut ditandai dengan perubahan lebar garis yang dihasilkan, adanya pelarut yang masih tersisa di dalam bahan resisten, serta limbah yang muncul beberapa jam setelah proses selesai. Yang diperlukan adalah lampu yang mampu menjaga suhu bahan resisten sesuai dengan spesifikasi yang ditentukan, dari siklus ke siklus.

Yang penting secara teknis:
Kami menggunakan sumber cahaya inframerah dekat (NIR) dengan spektrum cahaya yang dirancang untuk memanaskan bahan resisten secara cepat dan merata, sehingga tidak terjadi perbedaan suhu antara permukaan dan bagian bawah lapisan film. Tingkat keseragaman suhu di seluruh area pengeringan mencapai ±0,1°C, yang berdampak pada viskositas bahan resisten yang konsisten dan perilaku pelapisan yang stabil. Sistem ini dapat beroperasi secara kontinu tanpa menghasilkan partikel apa pun—cocok digunakan di ruang bersih kelas 1 hingga kelas 100. Intensitas cahaya tetap stabil selama lebih dari 5.000 jam, dengan fluktuasi kurang dari 5%. Profil termal juga tetap konsisten dari satu batch ke batch lainnya.

Lembut on Infrared Glass Heating Technology

Lampu pengeringan fotoresist jenis soft bake