लिथोग्राफी प्रक्रिया में, कम तापमान के कारण होने वाले प्रभाव स्पष्ट रूप से दिखाई नहीं देते। ऐसे प्रभाव तो केवल फिल्म की मोटाई में होने वाले...

लिथो फ्लोर पर, नरम बेकिंग के दौरान आधा डिग्री का अंतर “सहनशीलता” नहीं है… बल्कि ऐसी स्थिति में वेफर बेकार हो जाता है। फोटोरेसिस्ट का सुखाना, तापीय...