http://ir-glass-heat.com/hi/tags/%E0%A4%8F%E0%A4%AE%E0%A4%88%E0%A4%8F%E0%A4%AE%E0%A4%8F%E0%A4%B8/ Recent content in एमईएमएस on Infrared Glass Heating Technology Hugo hi Mon, 29 Jun 2026 07:07:39 +0800 http://ir-glass-heat.com/hi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:07:39 +0800 http://ir-glass-heat.com/hi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="MEMS सेंसर वेफरों को सूखाने हेतु हीटर"></p> <p>देखिए, वेफर रिन्स स्टेशन से बाहर आ रहा है… पानी के निशान होने की अनुमति नहीं है। फोटोरेजिस्ट, तापीय परिवर्तनों को सहन नहीं कर सकता। यदि ड्रायर उचित तापमान प्रदान नहीं कर पाता, तो उत्पादन में कमी आ जाती है… ऐसी स्थिति में फिर से काम करना पड़ता है, और एक और बैच बर्बाद हो जाता है।</p> <p><strong>तकनीकी दृष्टि से, इसका क्या महत्व है?</strong><br> हमने MEMS सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु ऐसे हीटर बनाए हैं, जिनमें तेज़ प्रतिक्रिया वाले, क्लीनरूम-अनुकूल ऊष्मा-प्रदान करने वाले घटक एवं क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल डिज़ाइन है। इससे वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है… इससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाएँ ठीक वैसी ही होती हैं, जैसी निर्धारित हैं।<br> डिज़ाइन के कारण कणों की मात्रा शून्य ही रहती है… सील्ड डिज़ाइन एवं कम गैस-निर्माण वाली सामग्रियों के कारण कणों की संख्या क्लास 1–100 में ही रहती है। कंट्रोलर, तापमान को अत्यधिक सटीकता के साथ रिकॉर्ड करता है… इससे प्रक्रिया स्थिर रहती है, एवं SPC सीमाएँ भी बनी रहती हैं। ऊर्जा-उपयोग को मापा जाता है… अधिक ऊष्मा-ऊर्जा की आवश्यकता नहीं है… कुशल इन्सुलेशन के कारण किलोवाट-घंटे की मात्रा कम रहती है, बिना स्थिरता को प्रभावित किए।</p>