देखिए, वेफर रिन्स स्टेशन से बाहर आ रहा है… पानी के निशान होने की अनुमति नहीं है। फोटोरेजिस्ट, तापीय परिवर्तनों को सहन नहीं कर सकता। यदि ड्रायर उचित तापमान प्रदान नहीं कर पाता, तो उत्पादन में कमी आ जाती है… ऐसी स्थिति में फिर से काम करना पड़ता है, और एक और बैच बर्बाद हो जाता है।
तकनीकी दृष्टि से, इसका क्या महत्व है?
हमने MEMS सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु ऐसे हीटर बनाए हैं, जिनमें तेज़ प्रतिक्रिया वाले, क्लीनरूम-अनुकूल ऊष्मा-प्रदान करने वाले घटक एवं क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल डिज़ाइन है। इससे वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है… इससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाएँ ठीक वैसी ही होती हैं, जैसी निर्धारित हैं।
डिज़ाइन के कारण कणों की मात्रा शून्य ही रहती है… सील्ड डिज़ाइन एवं कम गैस-निर्माण वाली सामग्रियों के कारण कणों की संख्या क्लास 1–100 में ही रहती है। कंट्रोलर, तापमान को अत्यधिक सटीकता के साथ रिकॉर्ड करता है… इससे प्रक्रिया स्थिर रहती है, एवं SPC सीमाएँ भी बनी रहती हैं। ऊर्जा-उपयोग को मापा जाता है… अधिक ऊष्मा-ऊर्जा की आवश्यकता नहीं है… कुशल इन्सुलेशन के कारण किलोवाट-घंटे की मात्रा कम रहती है, बिना स्थिरता को प्रभावित किए।
इसका वास्तविक लाभ क्या है?
MEMS में, सुखाने की प्रक्रिया ही प्रत्येक लिथोग्राफी एवं पैकेजिंग प्रक्रिया का आधार है। इस हीटर के कारण वेफर साफ रहता है… कोई तरल पदार्थ नहीं रहता, एवं फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता भी बनी रहती है।
इसका परिणाम यह है कि पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है… आकार-नियंत्रण बेहतर हो जाता है, एवं प्रक्रिया का समय भी अनुमानित ही रहता है। यह उपकरण 24/7 कार्य करने हेतु बनाया गया है… इससे उत्पादन निरंतर जारी रहता है, एवं अप्रत्याशित बाधाएँ कम हो जाती हैं। जब ऊष्मा-संबंधी संसाधन सीमित होते हैं, तो यह उपकरण प्रक्रिया को नियंत्रण में ही रखता है।
आपको क्या योजना बनानी होगी?
इस उपकरण की स्थापना हेतु, टूल-पोर्ट एवं गैस-लाइनों का संयोजन आवश्यक है। हम आयाम एवं फिटिंग-संबंधी जानकारी प्रदान करते हैं… लेकिन आपको अपने वेट बेंच के डिज़ाइन के अनुसार ही इसे स्थापित करना होगा।
हीटर तेज़ी से निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है… लेकिन चैंबर एवं कैरियर को थोड़ा समय लगता है… इसलिए इसे क्लीनरूम-उपकरण की तरह ही इस्तेमाल करना होगा… गर्म सतहों को छूने से बचें, एवं ESD एवं संदूषण-नियंत्रण का ध्यान रखें।
रेसिपी बदलने हेतु थोड़ा समय ही आवश्यक है… एक बार यह सेट हो जाने के बाद, प्रक्रिया नियंत्रण में ही रहती है… एवं इसकी जाँच भी आसानी से की जा सकती है।