http://ir-glass-heat.com/he/tags/soft/ Recent content in Soft on Infrared Glass Heating Technology Hugo he Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מנורת אפייה עדינה לפוטורזיסט"></p> <p>על גבי הרצפה הליתוגרפית, שינויים קלים בטמפרטורת החימום אינם גורמים לכשלים בולטים. הם באים לידי ביטוי בשינויים ברוחב הקווים, בנוזלים שנשארים בחומר הפוטורזיסט, ובחומרים שנשארים לאחר שעות רבות מהחימום. מה שנדרש הוא מנורה שתשמור על הטמפרטורה הנכונה של החומר הפוטורזיסט, שוב ושוב.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים בגלאים באור נרחב-אינפרה-אדום, שמאפשרים חימום מהיר ואחיד של החומר הפוטורזיסט. כך לא נוצרים שינויי טמפרטורה בין הפנים לחוץ של השכבה. האחידות בטמפרטורה ברחבי אזור החימום היא ±0.1°C, מה שמביא לתכונות סיסטמטיות של החומר המושתל. המערכת יכולה לפעול באופן רציף, ללא יצירת חלקיקים – היא מתאימה לחדרים נקיים מסוג 1 עד 100. הפלט נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר, עם שינוי בעוצמה של פחות מ-5%. הפרופיל התרמי נשאר זהה בין אצוות שונות.</p>