Bake on Infrared Glass Heating Technology

מנורת אפייה עדינה לפוטורזיסט

Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800

על גבי הרצפה הליתוגרפית, שינויים קלים בטמפרטורת החימום אינם גורמים לכשלים בולטים. הם באים לידי ביטוי בשינויים ברוחב הקווים, בנוזלים שנשארים בחומר הפוטורזיסט, ובחומרים שנשארים לאחר שעות רבות מהחימום. מה שנדרש הוא מנורה שתשמור על הטמפרטורה הנכונה של החומר הפוטורזיסט, שוב ושוב.

מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגלאים באור נרחב-אינפרה-אדום, שמאפשרים חימום מהיר ואחיד של החומר הפוטורזיסט. כך לא נוצרים שינויי טמפרטורה בין הפנים לחוץ של השכבה. האחידות בטמפרטורה ברחבי אזור החימום היא ±0.1°C, מה שמביא לתכונות סיסטמטיות של החומר המושתל. המערכת יכולה לפעול באופן רציף, ללא יצירת חלקיקים – היא מתאימה לחדרים נקיים מסוג 1 עד 100. הפלט נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר, עם שינוי בעוצמה של פחות מ-5%. הפרופיל התרמי נשאר זהה בין אצוות שונות.

נורת אפייה למרפד סיבובי

Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800

בקומת הליתוגרפיה, סטייה של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה מספיקה כדי לזרוק את כל לוט הפלטה. אפייה רכה ואפייה קשה אינן רק מחזורי חום — אלו בקרות ממדיות. אם הנורה לא מצליחה לשמור על נקודת ההגדרה לאורך כל הפלטה, אחידות ה-CD מתפוררת והתפוקה יורדת איתה.
בנינו את מנורת האפייה של מכונת הספין קוטר סביב נורות קוורץ הלוגן בתחום התת-אדום הקרוב (NIR). היא מספקת תגובה תרמית מהירה וישירה ופלט קרינה יציב. המערכת מכוונת לאחידות ברמת הפלטה בתוך ±0.1°C, והחזרתיות שומרת על הסרה עקבית של הממס, ריצה אחרי ריצה.
מערך המנורה מדורג לכיתה 1–100 בחדר נקי. נתיב אופטי אטום וחומרים בעלי פליטה נמוכה שומרים על ספירת חלקיקים קבועה. הפלט נשאר יציב ליותר מ-5,000 שעות, עם סטייה בעוצמה של פחות מ-5%, כך שהתקציב התרמי שלך לא סטה עם הזמן.
הנה הסיבה לכך שהיא מחזיקה מעמד בסביבת ספין קוטר: עלייה מהירה, השהייה הדוקה וחזרה מיידית לנקודת ההגדרה בין פלטה לפלטה. אתה מקבל מחזורי אפייה קצרים יותר ללא חריגה, צריכת אנרגיה נמוכה יותר ללוט ופחות מסכות תיקון שנגרמות מבעיות של “footing” ו-“scum”. התוצאה היא בקרת CD צפויה ופחות סטיות הקשורות לשונות באפייה.
NIR מספק מהירות ואחידות, אבל המנורה דורשת אספקת חשמל נקייה ויישור אופטי מדויק. רעידות במתח או יישור לקוי של המנורה יתבטאו כהצטברות נקודות חמות. לפני ההתקנה, ודא את שקע המנורה ואת הממשק התרמי במכונת הספין קוטר.
תכנן כיול תקופתי של העוצמה ובדיקת החלון. זה מה ששומר על האחידות של ±0.1°C במקום הנדרש, חודש אחרי חודש.

נורה אינפרא אדום לאפיית פוליאמיד

Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800

בשורה, השעון לא מחכה לאף אחד. פרוסת 300 מ"מ זורמת מציפוי לאפייה רכה, ואז לחשיפה, והתקציב התרמי שקבעת בדקות הראשונות מכתיב את הכללים לאחידות CD, לזווית דופן הצד—and—בסופו של דבר, לתפוקה. כשנורה האפייה מתחילה לסטות, משליכה נקודות חמות על השדה או נכשלת לגמרי, הקו נעצר, התור מתארך, והעלות לפרוסה עולה עוד לפני שהדוגמה הראשונה נכתבת.

אפיית פוליאמיד מתמצתת לחום שניתן לשחזור. יש להחדיר את השרף לחלון Tg הנכון ללא פיצוץ ממס, ללא יצירת קרום וללא הוספת חלקיקים. אינפרא-אדום יכול לספק את הבקרה הזו—מהיר ויציב—אך רק אם המשדר, האופטיקה ולולאת הבקרה מטופלים כמערכת תרמית אחת, לא כקופסה עם גוף חימום מחובר.