http://ir-glass-heat.com/he/tags/%D7%AA%D7%9E%D7%99%D7%9B%D7%94/ Recent content in תמיכה on Infrared Glass Heating Technology Hugo he Mon, 01 Jun 2026 20:24:33 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Mon, 01 Jun 2026 20:24:33 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מחמם תמיכה להסרת מסכת פוטורזיסט"></p> <p>בקומת הליתוגרפיה, כשל בחימום התמיכה בזמן הסרת הפוטורזיסט עוצר את הקו מיד. וופרים מתחילים להצטבר עם שאריות, הפחתות בזבל עולות, ומתכנן הייצור מוצא עצמו במבוי סתום. הדרישה היא לבקרה תרמית שאינה יוצרת לחצים.</p> <p><strong>מה שחשוב, מבחינה טכנית</strong><br> מחממי התמיכה להסרת הפוטורזיסט שומרים על אחידות טמפרטורה ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C לאורך אזור הפעילות, ושומרים על יציבות נקודת ההגדרה לאורך רצף האפייה וההסרה. אלמנטים מקוורץ ונתיבי אינפרא-אדום קצרי גל מבוקרים מחממים רק את המטרה, כדי למנוע דליפת חום למתקני החדר.</p>