http://ir-glass-heat.com/he/tags/%D7%A4%D7%95%D7%98%D7%95%D7%A8%D7%96%D7%99%D7%A1%D7%98/ Recent content in פוטורזיסט on Infrared Glass Heating Technology Hugo he Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מנורת אפייה עדינה לפוטורזיסט"></p> <p>על גבי הרצפה הליתוגרפית, שינויים קלים בטמפרטורת החימום אינם גורמים לכשלים בולטים. הם באים לידי ביטוי בשינויים ברוחב הקווים, בנוזלים שנשארים בחומר הפוטורזיסט, ובחומרים שנשארים לאחר שעות רבות מהחימום. מה שנדרש הוא מנורה שתשמור על הטמפרטורה הנכונה של החומר הפוטורזיסט, שוב ושוב.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים בגלאים באור נרחב-אינפרה-אדום, שמאפשרים חימום מהיר ואחיד של החומר הפוטורזיסט. כך לא נוצרים שינויי טמפרטורה בין הפנים לחוץ של השכבה. האחידות בטמפרטורה ברחבי אזור החימום היא ±0.1°C, מה שמביא לתכונות סיסטמטיות של החומר המושתל. המערכת יכולה לפעול באופן רציף, ללא יצירת חלקיקים – היא מתאימה לחדרים נקיים מסוג 1 עד 100. הפלט נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר, עם שינוי בעוצמה של פחות מ-5%. הפרופיל התרמי נשאר זהה בין אצוות שונות.</p> http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מודול ייבוש פוטורזיסט באמצעות אינפרא אדום"></p> <p>על הקרקעית האבן, סטייה של חצי מעלה בתהליך האפייה אינה נחשבת ל”טולרנס”. זו סיבה לזריקת הוואפר לפח. ייבוש הפוטורזיסט תלוי בשליטה בטמפרטורה; המודול של אינפרא-אדום הוא הגורם המכריע שקובע אם התהליך יצליח או לא.</p> <p><strong>מה באמת חשוב בתהליך האפייה</strong> אנו משתמשים במודול לייבוש פוטורזיסט באמצעות אינפרא-אדום, ששומר על אחידות טמפרטורית ברמה של ±0.1°C. המודול מאפשר שחזור עקבי של תהליך האפייה מדגם לדגם. בחירת סוג הקרינה היא מכוונת – אינפרא-אדום, מכיוון שהוא מאפשר תגובה מהירה ושליטה מדויקת בספקטרום האור. כך נמנעים עיכובים וסטיות בטמפרטורה. המערכת מיועדת לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, ומעוצבת כך שלא ייווצרו חלקיקים, דבר שמאומת באמצעות מעקב אחר החלקיקים בזמן אמת. המערכת נועדה לפעול 24/7 ללא הפסקות, וזמן התחזוקה מותאם לשינויי הייצור.</p> http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Mon, 01 Jun 2026 20:24:33 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מחמם תמיכה להסרת מסכת פוטורזיסט"></p> <p>בקומת הליתוגרפיה, כשל בחימום התמיכה בזמן הסרת הפוטורזיסט עוצר את הקו מיד. וופרים מתחילים להצטבר עם שאריות, הפחתות בזבל עולות, ומתכנן הייצור מוצא עצמו במבוי סתום. הדרישה היא לבקרה תרמית שאינה יוצרת לחצים.</p> <p><strong>מה שחשוב, מבחינה טכנית</strong><br> מחממי התמיכה להסרת הפוטורזיסט שומרים על אחידות טמפרטורה ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C לאורך אזור הפעילות, ושומרים על יציבות נקודת ההגדרה לאורך רצף האפייה וההסרה. אלמנטים מקוורץ ונתיבי אינפרא-אדום קצרי גל מבוקרים מחממים רק את המטרה, כדי למנוע דליפת חום למתקני החדר.</p>