http://ir-glass-heat.com/he/tags/%D7%A1%D7%A8%D7%A0%D7%99%D7%98/ Recent content in סרניט on Infrared Glass Heating Technology Hugo he Mon, 08 Jun 2026 05:09:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="מחמם לעיבוד פרוסות ספיר"></p> <p>ברצפת הייצור, וייפר הספיר בעל הקוטר 2 אינץ&rsquo; מונח תחת מסלול הליתוגרפיה, ממתין ל-Soft Bake. יש צורך ב-110°C על פני כל המשטח, ולא רק במה שנמדד על ידי התרמוקפל. טמפרטורה נמוכה יותר גורמת לסטייה בפרופיל הפוטורזיסט, וטמפרטורה גבוהה מדי תחרוג מתקציב החום המותר.</p> <h2 id="מה-שבאמת-חשוב-מבחינה-טכנית">מה שבאמת חשוב, מבחינה טכנית</h2> <p>המחממים בהם משתמשים לעיבוד וייפרי ספיר הם מפיצי אינפרא-אדום קצר גל (SWIR) מסוג קוורץ. הם מקרינים חום ישירות ומהר, עם אינרציה תרמית נמוכה מאוד. אחידות הטמפרטורה ברמת הוייפר נשמרת ב-±0.1°C לאורך כל הצ&rsquo;אק, וחזרתיות בין מחזורי חימום עומדת על ±0.2°C.<br> הפלטפורמה מותאמת לחדרים נקיים מדרגה 1–100, והמרכיבים נבחרים כך שייצור חלקיקים במהלך עבודה במצב יציב יהיה אפסי. נקודת האמינות גבוהה עם עבודה רציפה 24/7 ללא השבתות לא מתוכננות, ופרופילי האפייה של הפוטורזיסט עקביים ומאפשרים בקרת רוחב קו מדויקת.</p>