http://ir-glass-heat.com/he/tags/%D7%9C%D7%97%D7%95%D7%AA/ Recent content in לחות on Infrared Glass Heating Technology Hugo he Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/he/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="מנורה להסרת לחות מוופרים"></p> <p>בחדרי הייצור, הלחות שנשארת לאחר הניקוי אינה רק מטרד – היא חודרת לתוך הפוטורזיסט במהלך תהליך האפייה, משנה את הממדים החשובים של הוופר, וגורמת לירידה באיכות המוצר. מנורת הסרת הלחות פותרת בעיה זו על ידי הסרת הלחות מהפני השטח לפני שהתהליך הליתוגרפי נפגע.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> יצרנו את המנורה על בסיס גופי פלורין בגלי אור קצרים, הממוקמים במעטפת קוורץ. היתרון של גישה זו הוא חימום מהיר של הפני השטח, עם מסה תרמית מינימלית. כך ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, עם תגובה של פחות משנייה, ועם אחידות ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C. פרופיל הקרן מותאם לקוטר הוופר ולמהירות הסריקה, כך שהטמפרטורה נשארת תחת שליטה, והכימיה של הפוטורזיסט נשארת שלמה. המנורה תואמת את סטנדרטים של חדרי ניקיון מסוג Class 1–100: חומרים שעומדים בסטנדרטים אלו, מעטפת אטומה, ואין יצירת חלקיקים במהלך הפעולה הרציפה.</p>