http://ir-glass-heat.com/fr/tags/galette/ Recent content in Galette on Infrared Glass Heating Technology Hugo fr Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/fr/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/fr/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Chauffage de plaquettes en saphir"></p> <p>Sur le plancher de fabrication, cette plaquette en saphir de 2 pouces est positionnée sous la ligne de lithographie, en attente d’un Soft Bake. Il vous faut 110°C sur toute la surface, pas seulement la valeur mesurée par le thermocouple. Toute température plus basse et le profil du photorésist se déforme. Trop élevé, et vous grignotez votre budget thermique.</p> <h2 id="ce-qui-compte-vraiment-techniquement">Ce qui compte vraiment, techniquement</h2> <p>Les chauffages utilisés pour le traitement des plaquettes en saphir sont des émetteurs quartz infrarouge à onde courte (SWIR). Ils <a href="https://o-yate.net">diffusent</a> la chaleur directement et rapidement, avec très peu d’inertie thermique. L’uniformité au niveau de la plaquette est maintenue à ±0,1°C sur tout le plateau, et la répétabilité d’un cycle à l’autre reste dans ±0,2°C.<br> La <a href="https://henruite.com">plateforme</a> est compatible avec les salles blanches Class 1–100, et les composants sont sélectionnés pour que la génération de particules soit nulle en régime permanent. Vous bénéficiez d’une fiabilité 24/7 sans arrêts imprévus, et les <a href="https://o-yate.com">profils</a> de cuisson du photorésist sont suffisamment reproductibles pour garantir un contrôle précis de la largeur des lignes.</p>