Sur le sol en lithographe, les variations de température pendant le processus de cuisson ne se manifestent pas comme des défauts évidents. Elles se...

Sur la zone de lithographie, une dérive de température de cuisson de seulement un demi-degré suffit à condamner un lot entier de wafers. Les phases...

Sur la ligne, l’horloge n’attend personne. Une plaquette de 300 mm passe de l’étape de dépôt à celle de cuisson douce, puis à l’exposition, et le...